大型枚葉式洗浄装置
適応サイズ：
3,000×3,000 [mm] 2,200×2,600 [mm]
大型セル対応の洗浄装置。
8世代から10世代まで対応します。
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【特長】
大型化に伴い、新たな問題点(ギャップ部の洗浄・乾燥)を重点課題に、洗浄ユニット (ブラシ、HPMJ,2流体など)を組み合わせ、乾燥でもエアーナイフ、スポットナイフ、IRなどを組み合わせることにより、より優れた洗浄と乾燥を実現しています。
また、メンテナンス性、コストパフォーマンスにおいても優れた装置になっています。
PC・テレビ等の液晶パネル用マザーガラス、窓ガラス等の建築用ガラス等に適しています。
