現像装置
コンベア式DFR現像装置
枚葉基板の現像装置となっており、露光後DFRを現像処理にて回路形成を行います。
コンパクトな設計となっており、研究所などの開発用途に適しております。
【特長】
【仕様】
| Lane構成 | 1Lane |
|---|---|
| 搬送速度 | 1.2m／min |
| 材 料 幅 | MAX 120mm |
| 材料厚み | 50μm～ |
| 加 工 面 | 片面 |
| 装置構成 | 投入 ～ 現像 ～ 水洗 ～ 液切り ～ 受取 |
| ユーティリティー | 電源（ AC200・220V／50・60HZ ）、純水、市水、冷却水、スクラバー、 熱排気、（スチーム） |
| 装置寸法 | 2.0m（L） ×1.0m（W） × 2.0m（H） ※操作盤込み |